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微纳制造与加工技术

瑞士Eulitha紫外光刻机,新一代紫外光刻系统

PhableR 100 光刻机提供了一种前所未有的功能,它是一套低成本的光学曝光系统,但却能获得高分辨率的周期性结构。同传统的紫外曝光机类似,涂覆了光刻胶的晶片以接近方式放置在掩膜版下面,... ...

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微波等离子去胶机

德国Alpha Plasma的SU-8微波等离子体去胶机,该设备采用氟基气体的去胶工艺,利用氟基气体与SU-8胶的化学反应,实现快速去除SU-8功能。 ...

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